【研在德院】我校教师以首位起草人主持制定国家标准-德州学院

【研在德院】我校教师以首位起草人主持制定国家标准

发布时间：2026-04-16

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近日，由德州学院物理与电子信息学院教师霍晓迪以首位起草人身份主持起草的国家标准《金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法》（标准号：GB/T 47080-2026）正式发布。

该标准由中国科学院半导体研究所与德州学院联合牵头，霍晓迪老师作为首位起草人全程主导编制工作。研制过程中，联合成都中科米格检测技术有限公司、吉林大学、安徽光智科技有限公司、山东大学等多家单位协同攻关，并在行业内多家单位得到推广应用。标准规定了采用干法刻蚀结合显微计数测试立方金刚石单晶抛光片位错密度的方法，为半导体金刚石单晶衬底和外延材料的晶体质量提供了准确、标准化的检测机制，对产品在研发、生产和应用过程中的质量统一控制具有重要意义。该方法经济、简单、安全，以氢气和氧气这两种无毒、常见的气体作为等离子体气源，设备普适性高，实验证明其非常有效且成熟度高。

作为我国首个针对金刚石单晶位错密度测试的国家标准，本标准的发布填补了该领域标准体系的空白。